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亿鼎达新一代FFU

液晶玻璃行业净化解决方案

  • 所属系列:【液晶屏厂FFU应用】

  • 低温多晶矽薄膜电晶体液晶平面显示器(LTPSTFTLCD),指其TFT中半导体薄膜的结晶形态是多结晶(Polycrystalline),并非是非结晶(AMORPHOUS)。
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      低温多晶矽薄膜电晶体液晶平面显示器(LTPSTFTLCD),指其TFT中半导体薄膜的结晶形态是多结晶(Polycrystalline),并非是非结晶(AMORPHOUS)。

     



      LTPSTFTLCD的特点:

     

      1、载体的移动度为非晶矽的300倍 2、低耗电 3、高亮度 4、高解析度 5、轻薄短小 6、高品质 7、完美的系统整合

      LTPS技术所需要的环境需要绝对的无尘,通过ISO14644-1标准定义,我们根据制程的需要分为千级无尘室和百级无尘室。

     

      ISO14644-1的标准



      有机物细菌会在环境中急速的繁衍,大概在0.1un-0.3um粒径并且会附着在灰尘颗粒上,当我们在整个制程中不加以控制细菌繁衍或灰尘时,当有机物细菌大到一定程度会成为导体,对LTPS的损伤是致命的,损失也是相当惨重的。

      该如何有效控制灰尘或者有机物细菌呢?

      采用空调过滤系统+无尘室系统

     


      空调过滤系统布局图



      无尘室系统

      采用风淋系统+FFU等净化无尘设备搭配使用,若对静电有严格要求,还应在进入无尘室区域前段加装防静电测试仪和无尘洗手烘干机。

     



      百级无尘室控制的灰尘颗粒粒径在0.1-0.12um,千级无尘室控制灰尘颗粒粒径在0.3um,控制的数量参考ISO14644-1.

      那么在无尘系统中是不是换气次数约多越好?

      总体上看换气次数越多,对整个无尘环境的等级控制会变好,但是我们在关注换气次数的同时会忽略另外一个参数----流速!

      在百级无尘室中,流速决定了高效过滤器对灰尘或者有机物细菌的捕捉方式,也会影响到捕捉效果,一般设定的流速为0.35-0.65m/s之间,是高效过滤器抓捕效率最高的流速段,所以在调整整个无尘环境换气次数时,不应超出这个流速范围!



      建议使用多组设备配套,推荐设备

    交流FFU 节能FFU 传递窗

     交流FFU            节能FFU            风淋室  

     

    货淋室 有隔板高效过滤器  无隔板高效过滤器

         货淋室            有隔板高效过滤器       无隔板高效过滤器 

     

    无尘吸尘器 传递窗 垂直流净化工作台

      无尘室吸尘器         传递窗           洁净工作台 

     

     

     

     
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