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亿鼎达新一代FFU

空调净化解决方案

  • 所属系列:【半导体厂FFU应用】

  • 空调送风系统通过一定的流速将灰尘送到过滤系统当中,初级过滤器将5um以上大颗粒灰尘留在过滤表面,中效过滤器将1um-5um颗粒抓取,高效过滤器将0.3um-0.5um以上灰尘颗粒过滤,从而保证无尘车间的等级!
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    无尘室空调特性:

    微尘粒子(按等级要求)

    温度(22-23摄氏度DB),湿度(40-45%RH)

    恒温恒湿控制要求(正负0.1摄氏度,正负2%)

    全外气与高换气次数(化学药品,气体,挥发溶剂)

    全天候(24hr)运转(负荷大,备份机组)

    气流分布与控制

    高能耗,高运转以及维修成本(1.4-1.9KW/m2)

    空气循环量计算:

    1、依空气换气次数(ACH)

    Q=V*ACH

    (m3/hr)=(m3/次)*(次/hr)

    (2)依气流速度(Airvelocity)

    Q=V*A

    (m3/hr)=(m/s)*(m2)

    循环风量=风速*面积(房间或回风口)

    2、依气流速度(Airvelocity)

    Q(立方米/hr)=v(m/s)*A(m2)

    循环风量=风速*面积

    (1)外气量(Q1与Q2较大者)

    Q1=制程排气量(Qe)+间隙外洩量(Qi)+关门外泄量(Qd)

    (2)外气量=排气量+10%排气量(泄漏)+1%循环空气量=8~10%循环空气量

    空调内过滤网设计方案

    AirFilter(空气过滤器.滤网)

    初级滤网--外气入口 (Pre-filter)(5um↑)


    重击滤网--空调箱中 (MediumEfficiencyFilter’BagFilter) (1um↑)



    高效率滤网--无尘室 (HighEfficiencyParticulateAirFilter’HEPA) (1um↓)



    超高效率滤网--Class100↑ (UltraLowPenetrationAirFilter’ULPA) (o.5u↓)


     

    空调净化应用

    空调内滤网示意图



           空调送风系统通过一定的流速将灰尘送到过滤系统当中,初级过滤器将5um以上大颗粒灰尘留在过滤表面,中效过滤器将1um-5um颗粒抓取,高效过滤器将0.3um-0.5um以上灰尘颗粒过滤,从而保证无尘车间的等级!

     

    空调净化应用

    空调系统示意图



           根据行业制程的不同要求,产品对无尘等级的要求不同,对过滤器的选型也是不一样的,不但要对应过滤颗粒粒径大小而设计,还要考虑空气过滤器中不同规格的参数比如初阻力,效率精度,流速等因素来设计,选取相应的过滤器。
     

    空调净化应用   空调净化应用



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